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真空度:高真空
漏率: 1E-9 mbar l/s, He
使用寿命: 100万次(依制程而有些许改变)
铝合金或SUS阀体可供选择。波纹管密封和无波纹管。
应用于真空环境,传输物品之闸门
特色
- L-Motion,不同于单轴单向的闸板阀,作动采用
特殊开关方式,L-Motion Lock 可将阀门关闭位置固定。
- 方便安装与维修
- 闸板更换成本较低
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